三氧化鎢（WO3，tungsten trioxide）薄膜是一種重要的功能材料，因其具有優良的電致變色性能而被用於系統中。電子束蒸鍍法制備致變色用WO3薄膜常用的蒸鍍物質有WO3粉末和WO3靶材兩種。目前研究較多的是採用WO3粉末作為蒸鍍物質，但是採用粉末的形式通常不合適因此選蒸鍍物質，但是採用粉末的形式通常不合適因此選蒸鍍物質，但是採用粉末的形式通常是不合適的。因此選WO3靶材作為蒸鍍物質是一種優化方案。但是當前國內外卻鮮有對WO3靶材製備的報導。國內實驗室製備的WO3靶材，存在密度低或純的缺點，因此製備高純度密度WO3靶材具有重要的意義。

 

為了製備高純度超緻密WO3靶材，可擬從粉體、成形和燒結三個方面進行研究，而這三的優化組合是達成上述目標的必要條件。具體研究內容包括：

（1）高純度、燒結活性且壓制能優良的WO3粉末的製備；

採用國產的高純氧化鎢（度大於99.99%）為原料，採用低能滾動球磨工藝製備實驗粉末，探討球磨破碎機理以及工藝、介質等對粒度結構和純度等的影響。

 

（2）WO3陶瓷的壓制工藝優化；

將WO3造粒粉在不同壓力下模（為避免夾雜，採用高硬度、耐磨性且主要化學成分為鎢的硬質合金鑲嵌模具），析壓強與坯密度關係以及離散性，探討最優的壓制工藝。

 

（3）WO3陶瓷的燒結工藝優化。

為了抑制WO3燒結過程中的昇華，實驗燒結過程中全程通氧。探討溫度、和壓坯密度對燒結致的影響，找出最佳工藝。