微波等離子體製備氮雜二氧化鎢釩薄膜（3）

根據二氧化釩在68℃左右發生相變的特性，相關學者研究發現不僅摻雜可以降低二氧化釩的相變溫度，VO₂薄膜可以有效减少VO₂粉體的相變溫度。因此通過采用微波等離子製備氮雜二氧化鎢釩薄膜的，相變溫度可以降至35℃。而氮雜二氧化鎢釩的製備方法如下：將已經製備好的V_1.96W_0.04O₅薄膜，通過微波等離子增强法，控制反應參數，將V_1.96W_0.04O₅薄膜還原爲V_0.98W_0.02O₂幷進行氮摻雜。這個方法可以將化學計量比V_1.96W_0.04O₅摻雜還原成不同氮含量的氮雜二氧化鎢釩（V_0.98W_0.02O_2-XN_Y）。反應參數設定範圍如下爲：總壓强1kPa，反應功率100-200W，N₂流量爲0-20ml/min，H₂流量爲20ml/min，反應時間爲10-30min。通過不同的參數設定和工藝條件可以製備出不同氮摻雜量的V_0.98W_0.02O₂薄膜。且經實驗發現隨著氮離子的摻入，可以有效的降低氮雜二氧化鎢釩薄膜的相變溫度，最低可以降至35℃。



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