CVD鎢管縱向裂紋的產生原因

CVD鎢管縱向裂紋的產生原因主要是：鎢管內壁的沉積方式和沉積工藝過程沒控制好。根本原因是，鎢管內壁收縮產生的拉應力（冷卻速度過快、氣體通入量太大）導致的。由於生長晶粒界處的應力集中，所以這些部位易產生裂紋。鎢管的生長柱狀晶沿徑向方向生長，導致裂紋迅速向晶界內擴展。

鎢管內壁的沉積是通過加熱外壁使沉積基體升溫至沉積溫度。

在沉積的冷卻過程，沉積鎢管內壁因氫氣的不斷通入而迅速降溫，而其外壁的降溫速度相對而言會比較緩慢。

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