CVD鎢管沉積速率的影響因素

CVD鎢管沉積速率的影響因素主要有以下幾點：

還原反應的速度；

還原反應：WF₆+ H₂ → W + 6HF (125Kj/mol)

沉積溫度：500℃，600℃，700℃，800℃

隨著沉積溫度的升高，還原反應的速度加快，也就是說，W原子在單位時間內的產生量增大。

當沉積溫度在700℃時，WF₆差不多已經完全消耗掉了。

當沉積溫度在700℃-800℃時，CVD鎢管沉積速率的變化趨勢不是很明顯。

WF₆和H₂ 以及 HF的擴散運動的速度；隨著沉積溫度的升高，WF₆、H₂ 和 HF的擴散速度加快趨勢明顯。

W原子沿著沉積表面的擴散運動的速度；隨著沉積溫度的升高，W原子的擴散速度明顯加快。

結晶速度。

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