CVD鎢管的組織形貌(2)

隨著化學氣相沉積過程的進行,通過不斷地吸收鎢原子,初始形成的細晶晶粒向各個方向長大並形成沉積顯微組織中的雜亂取向生長區。

再經過進一步的沉積生長,因為,這些向各個方向長大的晶粒的橫向生長會由於相互的接觸和阻擋而停止繼續生長,所以,只有沿著垂直於銅基體表面方向的生長才能夠獲得其生長所需的空間,從而繼續生長。因為有這樣的競爭生長方式,所以,最終就形成了沿著垂直於生長表面發展的柱狀晶結構,沉積層主要就是由此區域組成。


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