CVD（化學氣相沉積法）製備鎢管的密度

採用CVD（化學氣相沉積法），以WF₆和H₂為原料，沉積溫度範圍在500-700℃左右來製備鎢管。

WF₆在和H₂發生化學反應後還原為鎢原子，鎢沉積層會沉積在沉積基體上。然後，獲得沉積鎢管的方法：可通過化學腐蝕或是在真空爐中將基體熔化。

採用浮力法測不同溫度沉積鎢管密度的結果顯示，在不同的沉積溫度下，鎢管都具有高密度：>19g/cm³。隨著沉積溫度的升高，還原過程加快，沉積生長介面上經還原的鎢原子會進一步生長，這將導致顯微組織晶粒明顯細和沉積層生長方向趨於雜亂，最終導致沉積層密度有所降低。

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