三氧化鎢薄膜的透光性（1）

WGZ-8雙光束紫外-可見分光光度計進行薄膜的透光性分析,入射光波長範圍為200~800nm,透光率為0%~150%。運用溶膠-凝膠法製備的三氧化鎢薄膜的透射光譜顯現出最大透光率和相應波長分別為:85.3%,556nm,波峰和波谷在350~600nm波長範圍內,波峰波谷處的透光率差值為4.4%,在小於300nm的波長範圍內透光率幾乎全部為零。而運用磁控濺射法製備三氧化鎢的透射光譜其中最大透光率和相應波長範圍分別為:90.1%,572~582nm,波峰波谷在350~650nm波長內,波峰波谷處透光率差值約為21.2%。比較兩條譜線可以看出兩種方法製備的三氧化鎢薄膜的透光率差異不大。

磁控濺射法製備的薄膜當溫度在450℃時,薄膜的透光率平均下降約8%~10%,峰形和峰位幾乎沒有變化。當退火溫度在500℃時,薄膜的透光率平均下降約8%,峰位和峰形沒有多大變化。

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