鎢靶材製作工藝

詳細內容: 分類：鎢的知識; 發佈於：2015-04-28, 週二 17:28; 作者 xiaoshan; 點擊數：401

這是一種創新的鎢靶材製作工藝，包括：提供鎢靶材坯料；對所述鎢靶材坯料表面進行機械加工；將所述機械加工後的所述鎢靶材坯料放置入真空包套並抽真空；對真空包套內的鎢靶材坯料進行鍛造；對所述鍛造後的真空包套內的鎢靶材坯料進行壓延；完成所述壓延後，進行冷卻並去除真空包套。採用本發明提供的鎢靶材的製作方法，避免使用模具，避免在空氣中對鎢靶材坯料進行加工延展時出現裂縫和表面易氧化的問題，能夠製作出內部組織結構均勻，晶粒大小符合濺射靶材要求的鎢靶材，而且具有易加工、廢品率低的優點，應用上述方法對大尺寸的鎢靶材的製作更加需要。

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