工藝參數對硬質合金刀具塗層的影響（二）

硬質合金刀具塗層的性能很大程度上決定於塗層的製備工藝及塗層品質，塗層品質包括：塗層密度、織構、顯微結構、結構缺陷、殘餘應力等。鍍膜工藝參數包括沉積溫度、電弧電流、N2 分壓、負偏壓、鍍膜時間、真空度等等。

3. 氮氣分壓 
氮氣作為反應氣體，其分壓的大小嚴重影響著塗層的相組成。在沉積過程中，氮氣還起著維弧的作用，當爐腔內的氣體壓強過低，陰極弧難以維持穩定，易引起斷弧現象，同時會使得膜層中的 N 比例下降，達不到理想的 TiN、TiCN、ZrN 原子配比。 

4. 負偏壓 
偏壓高時，離子轟擊增強，組織緻密。脈衝偏壓在一定程度上減少了磨蹭的殘餘應力，使結合強度增大，摩擦係數減小。但是偏壓過高，基體過熱，塗層的硬度和結合強度等力學性能都會下降。




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