製備白鎢礦晶態薄膜傳統方法及優缺點

製備白鎢礦晶態薄膜的傳統方法眾多，有溶膠-凝膠法、磁控濺射法、噴霧熱解法、脈衝鐳射沉積法、化學氣相沉積法、離子束濺射、分子束外延、燃燒法、微波合成法和真空蒸發等。但各種方法都有其優點和不足：

1：濺射法和真空蒸發法具有膜厚可控制且調節範圍大、成膜表面光潔、平整、緻密等優點，但都對真空度要求比較高，所需設備昂貴，且成膜速度較慢；

2：噴霧熱解法工藝簡單，易實現化學劑量的摻雜，但要求基片保持較高的溫度，製備的薄膜由較大的應力，不利長期穩定工作；

3：化學氣相沉積法具有化學劑量準確，能大面積成膜等優點，但初始原料難以獲得；

4：溶膠-凝膠法能在較低溫度下製備多組分、均勻、高純度的超細顆粒薄膜，操作工藝較簡單，設備不昂貴，易摻雜。但由於其先驅物多為有機醇鹽，對環境有害，且薄膜與基體結合力較差，成本相對較高，製備時間也長。




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