鈀影響三氧化鎢薄膜氫氣敏感性

詳細內容: 分類：鎢的知識; 發佈於：2014-09-05, 週五 14:22; 作者 liwj; 點擊數：364

氧化鎢具有氣體敏感性，用於檢測二氧化氮，氨氣等有毒氣體的檢測。被製備成三氧化鎢薄膜的氣體感測器因結構簡單，能夠通過改變金屬催化劑和工作溫度來檢測不同氣體。在三氧化鎢薄膜上添加摻雜物，可改變三氧化鎢薄膜的檢測性能，以下對三氧化鎢薄膜摻加鈀進行實驗分析：

將熱蒸發法鍍膜的三氧化鎢薄膜分別在空氣中400℃、500℃、600℃進行熱處理4h退火後和鈀沉積的厚度進行分析。實驗結果分析得知三氧化鎢薄膜在經過500℃熱處理時呈現四方晶體的多晶態，沉積鈀對三氧化鎢的晶體結構沒有影響，但隨鈀的添加抑制了三氧化鎢的晶粒生長。500℃以上熱處理時鈀在薄膜表面呈現小球狀，600℃以上熱處理時鈀粒子在薄膜表面凝結或擴散到材料內部。2nm鈀沉積的三氧化鎢薄膜在工作溫度250℃時反應靈敏度和恢復特性對氫氣的檢測特性最好。

可見，作為催化劑的金屬鈀由於對氫氣的反應極具活躍，在室溫下約吸收自身體積850倍的氫氣，而且在氫氣壓力低時可以釋放，是不可多得的氫催化材料，用於三氧化鎢薄膜上可提高氫氣敏感性。

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