製備三氧化鎢薄膜-醇鹽攪拌法

製備三氧化鎢薄膜-醇鹽攪拌法，首先採用WOCl4作為先驅液。將3g WOCl4溶解在15.3g正丙醇中，並在手套箱中不斷攪拌。為了避免在溶膠形成的過程中發生凝膠現象，加入10-20ml的乙醯丙酮作為表面活化劑，再加入7ml稀釋（1M）的鹽酸，以增強其反浸潤特性。然後將制得的上述溶液通過篩檢程式滴在高速旋轉的鍍有ITO導電膜的玻璃基片上，多餘的溶液被轉速為3000r/m至750r/m或1500r/m的塗膜機甩出，保持該速度60s，將制得的薄膜在180℃的溫度下熱處理20min，最後得到粒徑為190nm的三氧化鎢薄膜。

經研究表明，該製備工藝在熱處理前後，膜密度的變化後發現，三氧化鎢薄膜密度相對於體材料密度（7.16g/cm³）較低，在熱處理前為0.57,180℃退火後為0.64，膜為六方相的微晶結構。


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