製備氧化鎢薄膜-真空蒸鍍鍍膜法

氧化鎢，英文名稱: Tungsten Oxide；Tungsten Trioxide 是一種外觀呈黃色的斜方晶體，在加熱時顏色會變深，不溶於水合酸，能緩慢地溶於溶堿溶液。同時，氧化鎢具有氣體敏感性，可用於二氧化氮，氨氣等有毒氣體的檢測，當氧化鎢被製成氧化鎢薄膜的時候，能大大的提高對於低濃度有毒氣體的檢測。氧化鎢薄膜的製備方法很多，以下介紹真空蒸鍍鍍膜法製備氧化鎢薄膜。

真空蒸鍍鍍膜法是製備薄膜最一般的方法，是通過真空室抽真空至0.00001-0.0001Pa的壓強下，採用各種形式的熱能轉換方式使鍍膜材料蒸發，並成為具有一定能量的氣態離子（原子、分子或原子團），蒸發的氣態粒子基本上無碰撞的直線運動方式傳輸到基地，然後在基地上凝聚成薄膜，即為氧化鎢薄膜。
 

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