鋇鎢電極在離子束發生器中的應用

鋇鎢電極因其低功函數、高穩定性和長壽命特性，在離子束發生器中主要作為熱陰極材料，廣泛應用於電子發射和離子化過程，尤其在半導體加工、薄膜製備和空間推進領域表現出色。

中鎢智造鋇鎢電極圖片

1. 高效電子發射：鋇鎢電極具有低功函數，能在較低溫度下發射大量電子。這對於離子束發生器中的電子轟擊離子源至關重要，可提高電子流密度，增強氣體分子電離效率。

2. 高溫穩定性：鋇鎢材料在高溫環境下仍能保持穩定的化學和物理性能，適合離子束發生器長時間運行的需求。鋇的加入降低了表面勢壘，增強了熱電子發射能力，而鎢基體提供了機械強度和耐腐蝕性。

3. 延長使用壽命：相比傳統純鎢陰極，鋇鎢電極因其低功函數和抗中毒性（對殘餘氣體如氧氣的耐受性）具有更長的使用壽命，減少了離子束發生器維護頻率。

中鎢智造鋇鎢電極圖片

4. 鋇鎢電極在離子束發生器中的具體應用場景：

離子束刻蝕：在半導體製造中，鋇鎢電極用於產生穩定的離子束，精確控制刻蝕過程。

離子束濺射：用於薄膜沉積，提供高能量離子流以濺射靶材。

空間推進：在離子推進器中，鋇鎢電極作為電子源，支援推進劑的電離，生成高比沖的離子束。

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