什麼是六氟化鎢？

1、什麼是六氟化鎢？

六氟化鎢（Tungsten Hexafluoride）為氟與鎢形成的無機化合物，化學式WF6。常溫常壓下為無色氣體、有毒、具腐蝕性的氣體，溶於多數有機溶劑，密度約13g/L（約為空氣的11倍）。它CAS登錄號為：7783-82-6，EINECS號為：232-029-1。

2、六氟化鎢有什麼物理化學性質？

（1）它是一種密度最大的氣體，分子量為297.830，熔點為2.3°C，幾乎能夠和所有金屬（除了金和鉑）反應。

（2）它遇水分解，在空氣中被潮氣分解而強烈冒煙，生成黃鎢酸或三氧化鎢。

（3）它還是一種強氟化劑，除鎳合金和不銹鋼外，在室溫下能使許多金屬氟化；在乾燥狀態時對玻璃腐蝕較弱，但在濕氣中能迅速反應；與離子型鹵化物反應可形成配位化合物，在高溫下可被氫還原為鎢。

3、六氟化鎢如何生產？

它通常是由氟氣和鎢粉在350至400°C下直接反應而成，反應式為：W+3F2→WF6

反應產生的氣態產物通過蒸餾與常見雜質WOF4分離。在直接氟化的一種變體中，將金屬置於加熱的反應器中，略微加壓至1.2至2.0psi（8.3至13.8kPa），把恒定流量WF6注入到少量氟氣中。

反應中氟氣可以被替換成ClF、ClF3或BrF3。另一種製備WF6方法是三氧化鎢（WO3）和HF、BrF3或SF4的反應。WF6也可以從六氯化鎢開始合成，反應式為：

WCl6+6HF→WF6+6HCl

WCl6+2AsF3→WF6+2AsCl3

WCl6+3SbF5→WF6+3SbF3

4、六氟化鎢有什麼注意事項？

WF6是腐蝕性極強的化合物，會攻擊任何組織。WF6和濕氣反應會產生氫氟酸，所以WF6儲存容器有聚四氟乙烯墊圈。

5、六氟化鎢有什麼用途？

WF6主要應用於半導體工業的化學氣相沉積工藝中，以沉積鎢金屬。半導體器件製造行業通常用WF6化學氣相沉積來形成鎢膜。

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