鎢銅薄片的製備
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- 分類:鎢的知識
- 發佈於:2021-12-05, 週日 16:25
- 作者 Xiaoting
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鎢銅合金因有銅的優良導熱性和鎢的低膨脹係數,而常用作微電子的熱沉與封裝材料。通過調配鎢、銅的比例,可以使材料與芯片更匹配。另外,該合金還有强度和剛度好,可焊性佳的特點。然而,由于現有生産方法存在效率低、成品高級産品質量一般的缺點,所以下文將介紹的是鎢銅薄片新的製備方法。具體步驟如下:
1)鋼模壓制成型:將鎢銅彌散粉用液壓機鋼模壓制成型,得到鋼模成型壓坯;
2)冷等靜壓複壓:將鋼模成型壓坯在冷等靜壓機中複壓處理,得到複壓坯;
3)高溫燒結:將複壓坯放在氫氣氛鉬絲爐中高溫燒結,得到燒結坯;
4)熱乳:將燒結坯用兩輥乳機熱乳,後進行退火處理,根據燒結坯厚度重複熱乳和退火步驟,得到退火態熱乳鎢銅板材,再對退火態熱乳鎢銅板材進行表面處理;
5)溫乳:將退火態熱乳鎢銅板材進行溫乳,後進行退火處理,得到退火態溫乳鎢銅板材;
6)冷乳:將退火態溫乳鎢銅板材進行冷乳處理,最後退火、壓平,即可得到鎢銅薄片。
該生産方法注意事項:
(1)步驟4)熱乳的加熱溫度爲600—1050°C,加熱設備爲鉬絲爐,保護氣氛爲H2或者分解氨混合氣,加熱溫度由鎢銅比例决定,鎢含量高則加熱溫度高;
(2)步驟4)或步驟5)的退火溫度爲800—1350°C,退火時間30-60分鐘;
(3)步驟5)的溫乳加熱溫度爲400—600°C;
(4)步驟6)的冷乳加熱溫度爲400—600°C,退火溫度爲800—1050°C,退火時間30—60分鐘。
使用該技術生産出來的材料具有顯微組織均勻、緻密、氣密性合格的特點,幷且生産效率高,材料利用率高,成本較低。
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