單層二硒化鎢的生産

單層二硒化鎢憑藉著獨特的物理化學性質，廣泛應用于電子器件、光伏設備等領域中。然而，生産它却十分困難，如常用的化學沉積（CVD）法存在氧化鎢和硒源難以蒸發的問題。爲了解决上述的不足，有研究者對傳統的CVD方法進行了改進，具體步驟如下：

（1）選取兩片襯底，幷采用標準RCA清洗工藝對其進行清洗，選取兩隻石英舟分別作爲鎢舟和硒舟；

（2）將1-100mg的NaCl溶于5mL去離子水中製成鹽溶液，將2-20μL的鹽溶液滴在第一片襯底前端，再在熱板上加熱至去離子水完全氣化；

（3）在第一片襯底中心盛放3-300mg的WO3後，將其置于鎢舟中，把第二片襯底蓋在WO3上方的1mm-10mm位置，再將鎢舟置于管式爐高溫區，隨後在硒舟中加入10-500mg的硒粉，幷將硒舟置于管式爐低溫區；

（4）將高溫區升溫至100-150℃，使用100-1000sccm流量的氬氣吹掃反應腔體15分鐘到2小時；

（5）將氬氣流量調節至10sccm-200sccm，同時使高溫區迅速升溫至300-700℃；

（6）降低升溫速率，在高溫區溫度達到600-850℃時，對低溫區獨立加熱，使其中的Se融化幷與WO3反應3-60分鐘；

（7）自然降溫，待溫度降至100℃以下，將樣品取出密封，即完成單層二硒化鎢單晶的製備。

該生産方法的優勢在于：1）减少了反應條件，增加了系統的安全性，即不使用氫氣；2）使用NaCl的使用，消除了WO3原材料中毒反應的可能，同時采用移液槍精確控制NaCl加入量的方法；3）獨立控溫區的使用，能够精確控制WSe2形核和生長過程。

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