電沉積法製備三氧化鎢薄膜

三氧化鎢(WO3)薄膜是一種具有較高的透射率變化、可逆性好、相對價格低、壽命長和無毒環保等優點的功能材料，它是最早被採用且應用最廣泛的電致變色材料。這種電致變色材料的應用就隱匿在我們日常生活中，如它可製造節約能源、調節光線和控制熱負荷的智慧窗。因此，有關研究人員為研究三氧化物薄膜的性能不斷改進其製備方法，如用電沉積法製備WO3薄膜是近幾年的研究熱點。以下是關於電沉積法製備三氧化鎢薄膜的大致步驟。

 一、ITO 基底清洗

1.將1×4cm 的ITO（Indium Tin Oxides） 玻璃片分別隔離開放入小的玻璃圓柱燒杯；

2.之後放置在大的玻璃杯中，分別使用丙酮、甲醇、和超純水中超聲清洗10 min，除去其表面的灰塵以及黏附的有機物；

3.清洗之後置於60 ℃中的烘箱中乾燥，之後使用歐姆表確定導電的一側使用導電銅膠帶連結便於其後連接電路。

二、電沉積製備三氧化鎢薄膜

1.電沉積三氧化鎢薄膜的溶液由鎢酸鈉和無機酸配置，首先將0.125 mol/L

的Na2WO4•2H2O 和1 mol/L 的HClO4 溶液配置好；

2.往20 mL 的0.125 mol/L 的Na2WO4•2H2O 溶液加入1.2 mL 的1mol/L 的HClO4，使溶液的pH 值調控到1.4；

3.之後加入70μL 的H2O2(30%)配置成電沉積溶液；

4.通過三電極體系，將已準備好的ITO 基底連接工作電極，Pt 片作對電極，Ag/AgCl (3 mol/L KCl)作參比電極。在-0.7V 的電位下分別沉積400 s、600 s 和1000 s；

5.結束後使用乙醇沖洗並自然晾乾，根據電沉積的時間將所製備的薄膜分別命名為W400、W600和W1000。

電沉積法與其他方法相比，其設備較簡單、可控性強、鍍膜比較均勻。

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