什麽是鎢靶材?
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- 分類:鎢的知識
- 發佈於:2021-05-31, 週一 13:55
- 作者 Xiaoting
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什麽是鎢靶材?其又稱爲鎢濺射靶材,是一種以純鎢粉爲原材料的産品,外觀爲銀白色,因有優异的物理性質和化學性質,而深受衆多領域歡迎。
鎢濺射靶材特點
1)純度高,經過燒結鍛打後的靶材純度通常可以高于99.95%。一般而言,在其他條件不變情况下,靶材純度純度越高,所製成的鍍膜電性能越好,則相應電路越不容易短路或損壞。
2)成本相對合理,采用粉末冶金直接壓制成型的速度更快,能有效縮短生産周期,進而降低成本。
3)密度大,經過燒結鍛打後的靶材密度可達到19.1g/cm3以上。
4)偏轉力度高,利用超細純鎢粉末生産的靶材成品的成分與組織結構都較爲均勻、一致性較好。
5)熱化學穩定性良好,不易出現體積膨脹或縮收、與其他物質發生化學反應等現象。
6)電阻低,不會使電路産生不必要的能量。
此外,它還有高熔點、高彈性、低膨脹係數、低蒸氣壓、無毒、無放射性等特性。
鎢濺射靶材生産工藝
一般采用粉末冶金方法製備。第一,將鎢粉放在真空熱處理爐中進行預脫氣,後導入氫氣,繼續加熱進行脫氣;第二,將脫氣後的鎢粉通過真空熱壓完成一次燒結;第三,將一次燒結後的産品通過熱等靜壓機完成二次燒結;第四,將二次燒結後的産品通過機械加工將整個表面進行磨削處理,即可得到産品。注意:1)鎢粉的純度要達99.999%以上、粒度在3.2‑4.2μm之間。
鎢靶材用途
廣泛應用于平面顯示器、太陽能電池、集成電路、汽車玻璃、微電子、存儲器、X-射綫管、醫療設備、熔煉設備等産品中。
注意:靶材的純度、密度、微觀結構、內部質量、焊接質量、外觀質量和幾何尺寸等對鍍膜好壞有著重要的影響。
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