多功能感測器用WO3薄膜

WO3薄膜是一種過渡金屬氧化物半導體材料，其因對某些還原性氣體（如O3、NO2、NO、NH3、H2S）有較好的敏感特性，而常用來制取高品質多功能感測器。此外，氧化鎢對濕度也存在一定的敏感特性，所以更適合應用於新一代的感測器中。

多功能感測器（multifunctional transducer）一般是指用一個感測器能同時感受兩種或兩種以上的被測量，並轉換成可以接收和處理的信號的裝置，其廣泛應用於工業生產、航空航太等領域。

氣體感測器在多功能方面的進步最具有代表性，其正常能用來檢測H2S、C8H18、C10H20O、NH3等氣體。作為氣體感測器中較為重要的零部件之一，敏感材料主要有ZnO、SnO2、WO3、WO3（Pt）、SnO2（Pd）、ZnO（Pt），它們對以上的四種氣體均會有回應，但回應的靈敏度卻有很大差別，根據其從不同敏感部分的輸出差異即可測出被測氣體的濃度。下面，我們一起來瞭解一下這些敏感材料的基本資訊。

氧化鋅對外界環境（如溫度、光、濕氣等）十分敏感，外界環境的微小改變會迅速引起其表面或表面離子價態和電子運動的變化，從而立即引起其電阻的顯著變化。

氧化錫是一種無機物，其在低溫條件下不但對乙醇很敏感，對CO和H2也很敏感，因此僅通過改變感測器工作溫度所能達到的氣敏選擇性是有限的。

三氧化鎢是鎢中物理化學性能較為穩定的一種氧化物，其因晶體結構特殊，而具有顯著的表面效應、良好的氣敏性以及優異的電致變色等特點，適合作為下一代的感測器核心材料。

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