三氧化鎢薄膜的形成

三氧化鎢薄膜的形成與生長是一個相對複雜的問題。首先在三氧化鎢薄膜的表層，外來的原子要到達三氧化鎢基底表面，需要進一步的經過吸附、原子徒動、原子結合、形成臨界核。最終才能生長成我們所需要的三氧化鎢薄膜。

三氧化鎢薄膜的形成，歸納起來基本上分為吸附階段、成核以及三氧化鎢薄膜的初期生長階段、三氧化鎢薄膜的形成和生長階段。

三氧化鎢薄膜形成過程中的吸附階段，就是在通常的蒸發氣壓下，三氧化鎢原子從蒸發源處運動到基底的過程中，不發生碰撞現象，在運動過程中也沒有能量損耗。當入射原子接近和到達基底時，也就進入了基底表面的力場。三氧化鎢原子結合成原子團以後，如果尺寸太小，那麼該原子團就不太穩定，就可能吸附新蒸發的原子，也有可能解離並被其他的大原子俘獲。當原子團中的原子數量足夠多的情況下，就會形成臨界核，之後原子團會繼續長大，進一步的開始形成三氧化鎢薄膜。直到百分之九十的基底都被外來的原子覆蓋，就已經形成了三氧化鎢連續薄膜。

• < 前一頁
• 下一個 >