三氧化鎢晶體結構

理想的三氧化鎢晶體是一種嚴格按照化學計量比的無色透明絕緣體。其化學式為Re O₃。如圖中所示可以看出三氧化鎢的晶體結構。理想狀態下的三氧化鎢的分子量為 231.85。其理想密度為7.16g/cm³，熔點為 1473 攝氏度，沸點為 1750 攝氏度，禁帶寬度為 2.9eV。在低溫時三氧化鎢的化學性質將處於相對穩定的狀態。

但是在三氧化鎢實際的工作和生產過程中，由於三氧化鎢晶體結構中氧原子的缺陷或者三氧化鎢晶體結構的變形，將會使得三氧化鎢的化學式變為三氧化鎢-x。從而導致三氧化鎢晶體結構並不是正八面體，而是有著一定程度的扭曲現象。

近年來合成三氧化鎢的方法有很多種，其中磁控濺射法是一種廣泛使用的製備方法。通過磁控濺射法所製備的三氧化鎢薄膜附著力比較好、膜厚均勻易控制、晶體結構穩定。既便於實驗研究，也易於大規模的工業生產。這些優點促使磁控濺射法成為相對理想的製備三氧化鎢的方法。通過射頻磁控濺射法製備三氧化鎢，可以研究了氬氧的比值、濺射功率和反應壓強對電致變色性能的影響。

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