電致變色：摻Ti三氧化鎢薄膜

說起電致變色，很多人會想到WO3薄膜，也肯定有不少人會聯想到摻Ti三氧化鎢薄膜。例如，想起了有專家製備了Ti摻雜WO3薄膜，為了研究不同氧氣分壓對薄膜結構性能影響。具體的製備步驟如下：

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http://www.tungsten-powder.com/traditional/tungsten_oxide.html

使用鎢鈦合金（含鈦品質分數6%）作為靶材，在FTO透明導電玻璃（方塊電阻為～20Ω）基底上通過脈衝直流電源反應濺射沉積了Ti摻雜WO3薄膜。濺射前本底真空抽至低於4.5*10-4Pa，高純氬氣（99.9%Ar）作為工作氣體，高純氧氣（99.9%O2）作為反應氣體，基片溫度350℃，固定工作氣壓1.7Pa，通過改變通入O2流量7sccm、9sccm、13sccm、15sccm，沉積了不同氧氣分壓Ti摻雜WO3薄膜。因為工作氣壓固定不變，當O2流量增大，Ar分壓下降，單位時間內轟擊靶材表面的Ar+數量減少，濺射出的W原子減少，導致沉積速率下降。

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