鋰摻雜氧化鎢薄膜

較之氧化鎢薄膜,鋰摻雜氧化鎢薄膜的緻密度有了極大的改善,從其SEM圖可以看到薄膜表面的缺陷減少,孔洞幾乎消失。有專家採用掃描電鏡放大5.5K倍後對幾個薄膜樣品表面情況進行測試,如下圖,其中,圖(a)為圖(d)的橫截面圖。

鋰摻雜氧化鎢薄膜圖片

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鋰摻雜氧化鎢薄膜的SEM圖

上面的幾個樣圖作為代表,能夠很明顯地體現出高氯酸鋰摻雜之後,三氧化鎢薄膜的表面情況。圖(b)樣品表面緻密好,但是存在較多的白色顆粒,很可能是在摻雜時候高氯酸鋰在溶膠中的沉聚所造成。圖(c)樣品表面並無白色顆粒殘留,但是薄膜存在少量孔洞並出現裂痕,即此配比下,薄膜的應力不均勻。圖(d)樣品表面光滑緻密,無明顯殘留物,表面性能優良。此外,經檢測發現,各薄膜橫截面厚度基本一致。

 

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