摻雜WO3薄膜

摻雜WO3薄膜可以採用電子束蒸鍍法製備得到。其中,電子束蒸鍍法是蒸發鍍膜法中的一種,而後者又屬於物理氣相沉積法中的一種。有專家以WO3和CNT的混合粉末為原料,採用電子束蒸鍍法在Al2O3基板上制得NWCNT摻雜WO3薄膜。

摻雜WO3薄膜圖片

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專家表示,物理氣相沉積是實驗室中較為廣泛採用的制膜方法,與其他方法相比,其合成薄膜的速度較快,薄膜純度較高,表面均勻性較好,且可將一些高熔點反應物用於摻雜WO3薄膜的製備,但反應儀器成本較高,因而不適用於規模化製備薄膜材料。專家還講到,電子束蒸鍍的原理是利用高能電子束對靶材表面進行轟擊,使材料表面產生極高的溫度,從而使材料由固態直接昇華到氣態,並沉積到工件表面形成薄膜。

 

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