氧化鈰稀土拋光粉的在拋光過程中的作用歷史上，人們曾用較為堅硬的碎石或天然砂粒將石器磨平拋光，以便石器更加實用和美觀。隨著陶器等產品的出現，人們更加註重對其表面的研磨和拋光，但是過程仍停留在原始的手工勞動。到中世紀末玻璃行業的興起時，歐洲開始生產大塊鏡子時，對玻璃的研磨和拋光工藝得以快速發展，那時的玻璃研磨工藝，主要是在機床上進行。工業上逐漸將玻璃的冷加工劃分為粗磨、細磨和拋光三個階段。對玻璃進行化學機械拋光，可有效的提高玻璃工件表面質量，從而滿足目前顯示​​器玻璃，觸摸屏等精密玻璃行業的拋光。

 

　　

 

　　

目前，我國生產氧化鈰稀土拋光粉的原料有很多種，不同的原料對應不同的製備工藝。從製備工藝來看，可以分為四大類:一是稀土礦物原料焙燒法；二是以稀土可溶性鹽為原料的沉澱一焙燒法；三是以沉澱劑製備前驅體的沉澱一焙燒法；四是納米氧化飾的製備法。磨拋過程中玻璃的表面會形成軟質層並與拋光粉中的拋光顆粒、拋光墊發生相互作用，該軟質層的成分、厚度、硬度、以及摩擦發生的摩擦熱都將直接參與研磨並影響材料的去除速率，軟質層的成分、性質與玻璃的組成、水解的pH值及水解過程的參數緊密相關。