硬質合金刀具物理氣相沉積技術

硬質合金作為一種工具材料，由於其具有高硬度、高強度、高彈性模量、耐磨損和耐腐蝕等性能，已廣泛應用於各種切削工具、礦用工具和耐磨耐蝕零部件。硬質合金刀具表面塗層技術是應市場需求發展起來的材料表而改性技術。採用塗層技術可以有效地提高切削刀具的使用壽命，使刀具獲得優良的綜合力學性能，從而大幅度提高機械加工效率。而硬質合金刀具物理氣相沉積技術是硬質合金刀具製造領域的一種關鍵技術。

硬質合金刀具物理氣相沉積技術的工藝過程均可以分為三步：第一步是成膜材料的氣化，即成膜材料的蒸發、昇華、被濺射、分解，也就是成膜材料的源；第二步為成膜原子、分子或離子從源到基片的遷移過程，在這一過程中粒子間可能發生碰撞，產生離化、複合、反應、能量的變化和運動方向的改變等一系列複雜過程；第三步是成膜原子在基片表面的吸附、堆積、成核和長大成膜。物理氣相沉積的方法主要有：真空蒸鍍、濺射鍍膜、離子鍍膜。其中真空蒸鍍在工業上應用較早，而磁控濺射離子鍍和電弧離子鍍是工業生產的主流鍍膜技術。

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