塗層硬質合金刀具CVD技術的發展

CVD 技術自上世紀六十年代出現以來，在塗層硬質合金刀具上得到了極為廣泛的應用。在CVD技術中，氣相沉積所需金屬源的製備相對容易，可實現TiN 、TiC 、TiCN 、TiBN 、TiB2 、Al2O3 等單層及多元多層複合塗層硬質合金刀具，其塗層與基體結合強度高，薄膜厚度可達7～9μm，CVD 塗層具有好的耐磨性。

八十年代中後期，美國85 %的硬質合金工具採用了塗層處理，其中CVD 塗層硬質合金刀具占到了99 %。

九十年代中期，CVD 塗層硬質合金刀片在塗層硬質合金刀具中仍占到了80 %以上。例如，採用CVD法TiC單塗層的WC 基硬質合金為基體的YW1/TiC ，與未塗層的WC 基硬質合金YT15 進行車削對比。TiC單塗層刀片的耐磨性遠遠高於YT15 。但CVD 技術也有其先天性的缺陷，一是工藝處理溫度高，易造成刀具材料抗彎強度的下降；二是薄膜內部為拉應力狀態，使用中易導致微裂紋的產生；三是CVD技術所排放的廢氣、廢液會造成工業污染，對環境影響較大，與目前所提倡的綠色工業相抵觸，因此九十年代中期後高溫CVD 技術的發展受到了一定的制約。




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