三氧化鎢薄膜材料製備及其性能（二）

詳細內容: 分類：鎢的知識; 發佈於：2015-02-05, 週四 19:52

（二）蒸發法

利用物質在高溫下的蒸發現象，可以製備各種薄膜材料。蒸發法具有一些明顯的優點，包括較高的沉積速度、相對較高的真空度，以及由此導致的較高的薄膜純度等。蒸發法包括蒸發冷凝法、電子束蒸鍍法、電弧蒸發法、鐳射蒸發法、空心陰極蒸發法、熱蒸發法等等，其中熱蒸發法是使用比較多的方法之一。

有學者採用熱蒸發法製備三氧化鎢電致變色薄膜，以純度為99.99%的鎢粉為蒸發物質，抽真空至6～10mbar，蒸發速度用石英厚度監測儀和速度控制器控制在0.4nm/s，得到的薄膜樣品的厚度為500nm左右，將薄膜樣品在350、385、390、400、450℃下進行熱處理，性能測試的結果表明在390℃薄膜開始由無定形態向晶體轉變，在450℃完全轉變為晶體結構，並分別測試了無定形和晶體薄膜的光學性質和結構。還有學者採用熱蒸發法在三氧化二鋁單晶薄膜上沉積三氧化鎢薄膜，厚度約為40nm，薄膜分別在氧氣和空氣中進行退火處理，退火溫度為460℃，時間為25min，在氧氣或空氣中進行退火處理後，薄膜的表面形態，顆粒大小等都發生了較大的變化。蒸發法製備的薄膜純度高、顆粒分散性好。通過改變、控制氣氛壓力和溫度，可制得顆粒尺寸不同的納米薄膜，適合合成熔點低、成分單一物質的薄膜或顆粒。但該法成本高，不適宜製備大面積薄膜。

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