電子微探針用鎢針

鎢針是以難熔金屬鎢粉爲主要原料,鎳粉或鐵粉爲輔助材料的一種合金産品;是鎢棒通過拉拔機械加工,製成所需要尺寸和形狀的物體,是電子微探針中一種常用的探針材料。

清華大學微電子所EPS4型探針台

電子微探針是結合運用電子顯微鏡技術和X射綫分光技術的電子光學式分析儀器,主要利用X射綫熒光進行定性和定量分析,廣泛用于礦物、冶金、機械、電子和生物學等領域,尤其適用于對合金的顯微組織和相成分的研究分析。

使用鎢針做探針材料的優勢在于提高電子光學式分析儀器的靈敏度、穩定性、精確性和準確性等。

具體來說,鎢針因具有比其他金屬探針更高的熔點(3422℃)和更好的耐高溫性能,而可以在高溫的條件下穩定工作,同時能承受得了較高的電流密度和能量密度,有利于提高探針的靈敏度和穩定性。

中鎢在綫鎢針圖片

鎢針因具有很好的化學穩定性和耐腐蝕性,即對氧氣、水蒸氣和其他氣體不敏感,以及不易與其他物質發生化學反應的現象,而有利于提高探針的精確性和準確性,以及降低更換新探針的頻率。

鎢針因具有高密度、小體積、高强度、良好剛性、不易變形或折斷的優點,而有利于探針與樣品之間距離的調整,同時有利于延長探針材料的使用壽命。

另外,鎢針由于直徑較小,通常在0.1-1微米之間,而方便操作,可以使探針在微小的區域進行分析,尤其適合于納米級別的材料表面分析。

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