交流電化學腐蝕法製備單晶鎢絲

作爲場發射電子顯微鏡的核心部件之一，場發射電子源性能决定著場發射電鏡中主要的電子光學性能參數，它包括電子槍的發射角電流密度、電子束總發射電流及電子束的穩定度等。爲了滿足場發射電子源亮度高、束流大、束穩定性好、電子能量分散小等的要求，需要對氧化鋯/鎢肖特基場發射電子源（ZrO/W Schottky）場發射電子源的單晶鎢絲的針尖做尖化處理，一般要求針尖的曲率半徑在0.5-1.0μm之間。

專利號爲CN102339704B的研究者提出了一種獲得曲率半徑在0.5-1.0μm之間的場發射電子源針尖的製備方法。其具體操作如下：

1）將用天平稱取一定量的氫氧化鈉粉末倒入燒杯，再加入一定量的純淨水，同時用玻璃棒緩緩攪拌，配製成濃度爲3-5mol/L的腐蝕溶液；2）將配好的腐蝕液從U型管的一端倒入U型管，幷插入一個電極；3）將焊接有單晶鎢絲的陶瓷座固定到帶有測微頭的固定架上，調節測微頭，使單晶鎢絲浸入盛有腐蝕液的U型管的一端的液面下一定距離，幷將一個電極放入盛有腐蝕液U型管的另一端的液面下；4）將帶有電極夾和開關的連接導綫與信號源連通，將一個電極夾與焊接單晶鎢絲的陶瓷座上的電極連接，另一個電極夾與U型管的另一端的電極連接；5）打開信號源，調節腐蝕需用的信號源參數；6）啓動連接導綫上的開關，開始腐蝕；7）腐蝕結束後，斷開開關；8）調節測微頭，使燈絲陶瓷座上的鎢絲完全退出腐蝕液。

與其他的製造方法相比，交流電化學腐蝕法更容易被大家采納，主要是因爲其可控參數多，腐蝕精度高，産品穩定良好等。

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