Ti摻雜氧化鎢電致變色薄膜

為瞭解不同氧氣分壓對Ti摻雜氧化鎢電致變色薄膜結構性能影響，有專家採用下述方法先製備得到摻Ti的WO3薄膜。

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使用鎢鈦合金（含鈦品質分數6%）作為靶材，在FTO透明導電玻璃（方塊電阻為～20Ω）基底上通過脈衝直流電源反應濺射沉積了WO3:Ti薄膜。濺射前本底真空抽至低於4.5*10-4Pa，高純氬氣（99.9%Ar）作為工作氣體，高純氧氣（99.9%O2）作為反應氣體，基片溫度350℃，固定工作氣壓1.7Pa，通過改變通入O2流量7sccm、9sccm、13sccm、15sccm，沉積了不同氧氣分壓WO3:Ti薄膜。因為工作氣壓固定不變，當O2流量增大，Ar分壓下降，單位時間內轟擊靶材表面的Ar+數量減少，濺射出的W原子減少，導致沉積速率下降。

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