氨分子束外延生長氮化鋁的藍寶石襯底

 
 
 
 

氧化鋁表面氮化及由氨分子束外延(MBE)在藍寶石基板上的氮化鋁薄膜的隨後生長動力學進行了研究。氮化鋁的生長藍寶石基板過程中表面形貌演化研究了原位反射高能電子衍射和易地通過原子力顯微鏡。據發現,氮化鋁層表面厚度大於100 nm的有兩個主要特點:相當流暢的背景和小丘的明顯量。的生長條件下的AlN的表面形貌的影響進行了研究,以便找到一種方式,減小了小丘的密度。氮化的藍寶石表面與後續治療下氨氣流量對表面的修飾通過少量的鋁( 1-2單層)的建議,生長改性表面層的氮化鋁表面形貌的改善是證明。

氮化鋁的單晶層被生長在藍寶石襯底1000和1100 ℃下的氯化鋁與氨的氣相反應之間。純度、顏色、結晶度、生長形態,並且外延層的電阻率進行了研究。紅外線鏡面反射的測量有可觀的應變在氮化鋁-藍寶石外延界面的存在。光吸收數據有力地表明在氮化鋁是一種直接帶隙材料具有約6.2eV的在室溫下的值。


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