藍寶石晶圓

藍寶石晶片具有完整的定位選項，包括C面，A面，R面和M面，直徑範圍從1“到4 ” ，方形基片也可作為良好，尺寸從10 ×10毫米到100 x 100毫米。基板生產按SEMI標准具有良好的表面粗糙度鐳 < 5A和高清潔度。藍寶石晶片是由提拉法生產的，由於它的高強度，高抗腐蝕高耐磨損，低介電損耗和良好的電絕緣性，單晶藍寶石晶片扮演的藍色LED與高Tc超導體的材料越來越重要的作用和微波應用。

厚的氮化鎵層使用這些層的同質外延襯底以提高激光二極管器件的質量或發光二極管的目的增加了氫化物氣相外延（HVPE ） ，HVPE是一層厚厚的發展是非常有用的因為增長率可以從幾十可達每小時百微米。在該實驗中，通過生長形成在氧化矽掩模開口開始作為選擇性生長。面由平面形成的早期階段和從這些方面對氧化矽掩模聚結開發的連續膜。因此，氮化鎵層，位錯密度低至6 ×107厘米²生長在2英寸直徑的藍寶石晶片。這些氮化鎵層是無裂紋和有鏡面般的表面。


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