在氮化鎵載流子濃度和遷移率外延層上研究了紅外反射光譜藍寶石襯底

有機金屬化學氣相載流子濃度和遷移率的測量沉積的氮化鎵薄膜的藍寶石襯底上通過紅外反射法。通過與實驗數據擬合得到的晶格振動的振蕩器和的等離激元的所有參數。從等離子體頻率和阻尼常數，我們得到的載流子濃度和電子遷移率。與霍爾數據的濃度非常吻合，而遷移率的值是比該霍爾測量由約0.5的因子較小。我們認為這樣的流動性降低到散射與入射的光子耦合的電子的增加。

氮化鎵層是通過電子回旋共振分子束外延法（ ECR- MBE法），使用ECR等離子體細胞與細胞頂端為氮源離子去除磁鐵生長在藍寶石襯底上。離子去除磁鐵在此ECR等離子體單元的效率是99％。高質量的氮化鎵層而異。特別是（2×2 ）和（4 ×4 ） RHEED （反射高能電子衍射）圖案在氮化鎵生長和生長後的冷卻，分別表示氮化鎵的平坦和光滑的表面過程中觀察到。這些結果顯示了離子除去ECR等離子體單元的優越性。


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