感測在藍寶石襯底上外延生長的氧化錫氣敏元件的特性

外延氧化錫薄膜上生長用反應射頻磁控濺射在藍寶石襯底。使用從浦項光源（PLS）組成的2電子伏特的電子加速器， 4圓X射線衍射儀，原子力顯微鏡（AFM） ，透射電子顯微鏡（TEM）的3C2束線薄膜的微觀結構進行了研究與拋光氧化鋁的氧化錫薄膜比較。可以確認，該薄膜外延生長用的變型晶體結構的藍寶石基板上。沒有晶粒邊界被陳列在外延薄膜的表面上。在氧化錫薄膜的吸附位的大部分似乎與氣體發生化學作用。

外延的氧化錫氣體傳感器，使用鉑加熱器和電極，表現出高靈敏度的可燃氣體和95%的酒精在2000 ppm或350 ℃的特定靈敏度該傳感器也表現出良好的穩定性，小的基線漂移和快速反應和大約5和30秒的恢複時間，分別為。

這個實驗證實了外延生長的氧化錫氣體傳感器的良好氣敏特性。


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