非極性的Zn1-xMgxO（0≤X≤0.113）薄膜的外延生長和表徵：γ-鋁酸鋰和藍寶石襯底的比較

γ-鋁酸鋰和藍寶石基板已通過採用有機金屬化學氣相沉積生長的Zn1非極性-xMgxO薄膜。的Zn1-xMgxO薄膜與不同Mg含量（0≤X≤0.113）通過調整在氣相中的鎂金屬有機前體的分壓得到的。 Mg原子結合的電影代鋅的能力範圍內。無偏析相如MgO或Mg金屬在整個的Zn1-xMgxO膜中觀察到。的膜的結構表徵表明，γ-鋁酸鋰是一種高級的襯底為藍寶石的非極性的Zn1-xMgxO薄膜的生長。

外延的Zn1-xMgxO薄膜成功地生長在γ-鋁酸鋰基板與ZMO勞和ZMO LAO的外延關係。在另一方面，Zn1-xMgxO薄膜既和方位在藍寶石襯底上獲得的Zn1雖然-xMgxO成為主導隨著Mg含量。此外，外延的Zn1-xMgxO薄膜的室溫下的陰極發光光譜表明的近帶邊發射的隨Mg含量明顯藍移，這表明帶隙工程中的γ-鋁酸鋰襯底上外延非極性的Zn1-xMgxO薄膜。


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