氧化鎢是一種常見的電致變色材料，也最早被製成電致變色器件產品，如今已經被廣泛應用於生活中的各種領域。本文主要介紹摻雜Ti、Ni、V這三種元素對氧化鎢薄膜光學性能的影響。氧化鎢薄膜採用濺射鍍膜法製備而成的，在WOx、WO-Ti、WOx-Ni及WOx-V薄膜的沉積過程中，持續通入氧氣與氬氣混合氣體，以金屬鎢為靶材，採用直流電源濺射製備，而其他三種元素的摻雜則是通過射頻電源濺射各自的金屬靶材來實現的。由於採用濺射鍍膜法不同于傳統的摻雜工藝，無法精確地計算出摻雜量，只能採用相對摻雜量來比較摻雜量對電致變色性能的影響。相對摻雜量就是通過將直流電源與射頻電源的功率調整到相同的情況下，根據濺射時間的長短來確定相對摻雜量的多少。

採用的方式摻雜Ti得到的WO-Ti薄膜仍為非晶體，Ti大多數都是以Ti2+的形式存在。Ti的摻雜能提高氧化鎢薄膜一倍以上的迴圈使用壽命以及縮短薄膜的褪色時間。磁控反應濺射工藝進行摻雜時，例如：濺射功率、氧含量等這些工藝參數對薄膜性能影響比較大。雖然採用前期摻雜的摻雜方式更能有效地增加薄膜的回應速率，但均勻摻雜更有利於迴圈使用壽命以及光學性能，如果以提高迴圈使用壽命為主，摻雜量應在4-8%，而要提高光學性能摻雜量應在14%左右。