沉積溫度對鎢管組織形貌和結構的影響

在不沉積溫度（500℃、600℃、700℃和800℃），保持WF₆和H₂的成分配比及通入量不變的條件下，進行化學氣相沉積所獲得的鎢管的截面金相顯微組織不同。

當沉積溫度較低時（500℃），沉積層的組織呈現細小柱晶狀。

當沉積溫度達到600℃時，經化學反應還原生成的鎢原子的速度會加快。在沉積過程中，一些偶然快速生長的生長晶粒獲得橫向生長空間並生長，這會使得沉積層柱狀晶組織粗化。

當沉積溫度升高至700℃，經化學反應還原生成的鎢原子的速度已經非常快，沉積生長介面上的這些鎢原子開始重新形核和進一步生長。在這一過程，沉積層的組織形態會發生明顯變化。重新形核過程會造成，其一，使得沉積層組織柱狀晶生長方式趨於雜亂；其二，使得沉積層組織晶粒明顯細化。

若是沉積溫度升到800℃，重新形核過程會更加明顯，此時，沉積層顯微組織已經失去柱狀晶的生長特徵，其組織形態雜亂且晶粒大小不均勻。


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