基體管徑對化學氣相沉積鎢管組織形貌的影響

實驗材料及試劑如下:

H2:高純;
WF6:高純;
Ar:高純,用於排空反應系統中的空氣;
沉積基體:紫銅管(管徑:6mm、10mm、16mm、35mm);

相同沉積溫度(600℃)條件下,不同管徑(6mm、10mm、16mm、35mm)沉積基體獲得的鎢塗層的組織形貌都是細小的柱狀晶且其生長方向幾乎與銅管徑向相同。通過對以上條件下獲得的鎢塗層的顯微形貌的對比發現,在後續鎢管沉積工藝的參數中,可以忽略沉積基體管徑對鎢管顯微組織形貌的影響。


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