CVD鎢管的組織形貌（1）

在CVD（化學氣相沉積）過程，吸附在銅基體表面的WF₆被H₂還原成鎢原子，這些鎢原子會在銅基體表面聚集形核並長大，最終經切割等工藝形成鎢管。

顯微組織第一層的產生與鎢沉積層的最初晶核的形成過程和晶核的初始長大過程有關。

鎢原子會在沉積基體表面擴散並在基體表面活性位置聚集，這些位置通常是晶界附近、表面臺階位置和晶體缺陷表面露頭處。

當聚集的形核達到一定的過飽和度後，沉積層晶體的最初的晶核便會形成。因為，那些存在於沉積表面的活性位置的分佈並不是均勻的，所以，從微觀角度來看，最初沉積表面晶核的形成也不是均勻分佈的。


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