探測鎢針的接觸電阻

探測鎢針的接觸電阻會影響到半導體制程中晶圓測試的可靠度。所以，為了提高晶圓針測的準確性，有專家提出了一種測試探測鎢針的接觸電阻的方法。

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一種探測鎢針接觸電阻的測試方法

提供待檢測晶圓，晶圓上形成有焊墊，焊墊連接至電源端VDD；將探針鎢針與焊墊接觸，並將電源端VDD接地；向探針提供多次測量電流，得到探針上對應的測量電壓；根據測量電流和測量電壓計算出探針的接觸電阻的阻值R。利用晶圓本身的結構經過簡單的步驟就能得到探針與焊墊實際的接觸電阻。這將有助於良率分析和提高晶圓針測的準確性。

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