為何六氟化鎢需要淨化再提純

六氟化鎢是鎢和氟形成二元化合物，化學式為WF₆，在鎢的氟化物中，六氟化鎢(WF6)是唯一穩定並被工業化生產的品種。

六氟化鎢在不大於2.0℃時為白色固體，在2.0-19.9℃之間呈淡黃色液體，在不小於17.5℃時為無色氣體，其密度為3.44g/cm^3，相當於空氣的12.9倍，是已知最重的氣體之一，WF₆的相對分子品質為297.84，其分子在常溫下具有對稱的正八面體結構，並具有抗磁性。

六氟化鎢主要用途是用來製備高純鎢粉和作為金屬鎢化學氣相沉積(CVD)工藝的原材料，特別是用它製成的WSi₂ 可用作大型積體電路的配線材料。通過混合金屬的CVD工藝制得鎢和錸的複合塗層，可用於X-射線的發射電極和太陽能吸收器的製造。此外，六氟化鎢還可用於電子行業中半導體電極和導電漿糊的原材料，可以說，六氟化鎢在高科技領域均有著難以替代的作用。

目前常用于合成六氟化鎢的方法有三種，第一種是通過氟氣和鎢直接反應生成六氟化鎢。第二種是鎢和三氟化氮（NF₃）直接反應生成六氟化鎢。第三種方法是通過用鎢、鹵素和HF進行反應生成六氟化鎢。從真正意義上來說，三種方法所制取的六氟化鎢只能算初級成品。其仍含有大量的雜質,純度還難以達到工業要求，因此，對於六氟化鎢的再提純淨化提純也就尤為必要。

工業需求的確六氟化鎢其純度要求均很高，一般不低於99.999％（3N）。因此，六氟化鎢需進行再淨化提純，提純的方法有很多，主要有：氫氟酸淨化法、碳淨化法、六氯化鎢置換法等。

工業需求的確六氟化鎢其純度要求均很高，一般不低於99.999％（3N）。因此，六氟化鎢需進行再淨化提純，提純的方法有很多，主要有：連續精餾法、碳淨化法、六氯化鎢置換法等。上述方法各有所長，可將純度低於99.9％的六氟化鎢，含水量小於1ppmv，HF含量小於1000ppmv的初級六氟化鎢 提純至99.999％以上，使之適用於半導體行業需求。

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