與六氟化鎢（WF6）一樣，六氯化鎢也是由過渡金屬鎢元素和鹵族元素組成的一種無機物，均憑藉著優良的物理性質和化學性質，廣泛應用于高科技領域。注：氯和氟均屬￿鹵族元素，分爲位于第二周期VII族和第三周期VII族。

與六氯化鎢（WCl6）一樣，六氟化鎢也是由過渡金屬鎢元素和鹵族元素組成的一種化合物，均具有良好的物理化學性質，廣泛應用于化工領域。但是，二者在外觀、性質、生産方法和具體用途上存在較大區別，例如，六氯化鎢是一種帶有藍紫色的黑色結晶，而六氟化鎢在常溫常壓下爲淡黃色液體，其固態爲易潮解的無色結晶，氣態爲無色。注：鹵族元素是指周期表中的ⅦA族元素，包括氟、氯、溴、碘、砹等；其中氟位于第二周期VII族，比氯元素活潑，而氯位于第三周期VII族。

與六氟化鎢（WF6）一樣，六氟化鉬也是由難熔金屬元素和鹵族氟元素組成的一種化合物，均可以應用于微電子工業中作互連綫。鎢和鉬均屬￿難熔金屬元素，分別位于周期表中第六周期的VIB族和第五周期的VIB族。 

六氟化鎢（Tungsten Hexafluoride，WF6）是由過渡金屬鎢元素和活潑非金屬氟元素組成的一種無色氣體，是用于微電子學生産過程中鎢的化學蒸氣沉積的一種氣源，具有較大的密度、較强的腐蝕性和毒性等特點，主要應用于半導體工業的化學氣相沉積工藝中，以沉積鎢金屬。然而，當前的生産技術却很難生産出高純度WF6。