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分類:鎢的知識
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發佈於:2023-06-01, 週四 14:05
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作者 Xiaoting
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六氟化鎢(WF6)是一種無機化合物,常溫常壓下爲無色氣體,主要應用在集成電路製造領域,具體來說,在化學氣相沉積工藝中,通過沉積和堆叠製成大規模集成電路中的導電膜和金屬配綫材料。工業上常用固定床反應器使金屬鎢與氟氣或N3F直接反應的方法來製備WF6,在實際操作中産物易夾帶鎢粉,很難進行連續生産且反應器效率低。爲了解决上述的不足,專利號爲CN101428858A的研究者提出了一種新的生産方法,具體步驟如下:
閱讀全文:六氟化鎢的生産