高純六氟化鎢如何生産？

六氟化鎢（Tungsten Hexafluoride，WF6）是由過渡金屬鎢元素和活潑非金屬氟元素組成的一種無色氣體，是用于微電子學生産過程中鎢的化學蒸氣沉積的一種氣源，具有較大的密度、較强的腐蝕性和毒性等特點，主要應用于半導體工業的化學氣相沉積工藝中，以沉積鎢金屬。然而，當前的生産技術却很難生産出高純度WF6。

爲了製備出超高純度（99.9999%）且製造費用較低的六氟化鎢産品，專利號爲CN1281823A的研究者提出一種新的生産方法，具體步驟如下：

先將一定量的粗六氟化鎢引入一個蒸發過程，用以分離成爲一定量的含有揮發性雜質的WF6和一定量的非揮發性的金屬雜質；然後，將該一定量的含有揮發性雜質的WF6通過一個氣相吸附過程，用以分離成爲一定量的半粗WF6産品和一定量的作爲被吸附殘餘物的氟化氫；最後，將該一定量的半粗WF6送入一個UHP氣體鼓泡系統，用以分離爲非揮發的高純六氟化鎢産品。

值得一提的是，粗六氟化鎢一般是純度爲99%的WF6，且含有大于1ppmv的氟化氫。另外，UHP氣體鼓泡系統在溫度高于3℃，壓力大于0.5atm下操作，采用脉衝吹掃程序。

該生産技術的純化是基于蒸發、氣相活性吸附系統和鼓泡系統的結合。蒸發是爲了從粗六氟化鎢中除去非揮發性殘餘物。采用的氣相反應性吸附床是爲了從WF6中除去氟化氫和氟化矽雜質。采用的鼓泡系統是爲了從産品中除去揮發性雜質。

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