室溫下的氣體傳感引起了很多研究興趣，尤其是 MOX、CNT 和石墨烯的組合，但它通常存在響應時間慢、基線穩定性差和濕度依賴性大的問題。二氧化氮 (NO2) 氣體傳感器已被開發和商業化，常見類型包括金屬氧化物半導體和固體電解質。在金屬氧化物半導體中，三氧化鎢（WO3）基半導體因其結構簡單、靈敏度高、成本低以及在極端條件下具有潛在的耐久性而受到特別關注。用於低氧環境二氧化氮檢測的超靈敏氧化鎢氣體傳感器被成功製備， 該傳感器不僅對 NO2 具有高靈敏度（3.4%/ppb 對比商業傳感器的 0.2%/ppb）而且仍能可靠運行在較低的氧氣水平（低至 0.5%）。準備過程如下：

 

 

WO3 粉末與有機分散劑ESL 400混合以獲得糊狀物。粉末與有機分散劑的重量比為1:2。將糊劑滴到 1 毫米 x 1 毫米的矽芯片上，該芯片由薄膜頂部的金叉指電極組成，作為單芯片解決方案。沉積WO3糊劑後，將基板在室溫空氣中乾燥約12小時，然後在450℃下退火1小時，然後在350℃環境空氣中退火約23小時，得到傳感器元件。 n型WO3的組成。最後，將矽芯片引線鍵合到標準 TO-46 連接器。

 

 

綜上所述，用於低氧環境下二氧化氮檢測的超靈敏氧化鎢氣體傳感器已成功製備。結果發現電阻式氣體傳感器不僅對 NO2 具有高靈敏度（3.4%/ppb 對比商業 MOX 獲得的 0.2%/ppb），而且在較低的氧氣水平（低至 0.5%）下仍能可靠運行。這些具有通過滴鑄和退火製備的活性層的傳感器在低氧水平下可靠地工作，同樣具有高氣體靈敏度，但具有更長的響應和恢復時間（20% 左右）。