気相沈澱の範囲はとても広くて、通常とは源材料の気相条件の下ターゲットの基材に集まる。酸化タングステンを生産して、一般的は物理気相蒸着法（PVD）を用いる。PVD法は酸化タングステンタングステン源としてに直接用いる。ハイエナ-ジの蒸発昇華の方法で沈澱して、たとえばイオン衝撃、加熱、イオンビーム、レーザー放射などである。パラメータの制御を通して、ナノメートルサイズの結晶で、容貌の形成を実現することがでる。また、タングステン源は酸化タングステンが必ずしもなく、粉末と糸状のタングステン単体にもできる。また、必ず酸素やその他の酸化剤を導入しWO3のガスクロを形成する。多くの時、PVD法は生成にはWOxで、WO3ではない。沈澱物の色、通常はその化学計測を推定することができる。一般にブラックフィルムの形成が形成のWOx材料中の酸素原子が欠如に意味である。

スパッタリング法では、高いエネルギー粒子はターゲットの原子を衝撃しフィルムを生産するの方法である。その長所は制御性は良くて、生えた結晶膜は優れた構造の制御性がある。スパッタリング法は操作しやすく、大量生産にスクロール式の生産を実現することができる。だから、工業で酸化タングステンを生産するの方面で、スパッタリングは広い応用がある。

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静電紡糸工芸の起源は20世紀の30、40年代に始まる。静電紡糸の装置は一般的に以3つの部分のつながる。高圧電源、小さく直径の細い針と収集する紡糸の金属箔で、石墨紙などの収集装置を含む。

高圧電源は高電界をかけることに用いて、高分子の液滴が電荷につける。高分子の液滴は紡糸が装置を収集する前に、溶液は揮発することができて、それによって紡糸の収集装置で架橋の繊維に殘る。そして、高圧電源の電極の端は溶液の針を繋がって、一方の端が収集装置をつながる。液滴の表面は電荷につけて、高圧の駆動の下ですると表面の張力に反対の力を形成する。電界の強化に従って、液滴が針の半円形から錐状に引っ張っなって、即ち有名なテイラー錐である。

静電紡糸工芸にも酸化タングステンの調製に応用される。WCl6はタングステン源をとして、DMFとPVPはそれぞれ溶剤と高分子担体としてと16kV条件の下で前駆体繊維を調整した。しかも、高温でガス敏性能の酸化タングステンとナノファイバーを調整した。PVBなどキャリアをして、静電紡糸工芸を通じて、電界変色性能があるの酸化タングステンナノワイヤを生産した。

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（2）反応環境：水熱法は反応の過程の中に反応温度と圧力を抑えることを通して結晶粒の成長の過程を抑える。その成長の過程は通常にクローズドシステムの環境の中で行われた。この環境は高圧反応を採用することを維持する。温度が高い時、高い圧力は反応係が鋼の材料の腐食性が強いので、テフロンメモリ材料として反応釜の内張り材料を採用する。

（3）反応過程：その他の液相法によって、水熱の反応過程の中で、反応釜は一般的垂直を置くので、釜内液相と気相部分は、垂直方向の温度分布によって勾配に存在している。その温度の勾配の変化は反応釜内の液相でと気相が反応過程の中で強い対流現象を現れる。そして、液相は高温区に低温区まで移転し、相転移と溶液の局部の変化を伴った、低温区で溶液は飽和に変わったことはで溶質を析出して沈殿物を形成する。気化の溶液は低温に遇えばが液体に液の目に留まり、繰り返し循環に対流を形成し、最終的に溶質を析出して晶体を形成する。

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酸化タングステンの水和物の材料を調整して、一般的にはすぐに所要の調製の材料の構成要素は溶剤の体係の中を溶解する。そして実験工芸の条件を変えて（たとえば温度、濃度、蒸気圧など）過飽和の溶液を得られる。さらに、維持たりあるいわ体系の状態を変えたり、晶体を形成の方法である。我が国の古代の最古の結晶の調製方法として、古代人は海水から塩を抽出するの過程は液相のシステムの条件で結晶を成長するの実例である。長い時間の生産実踐を通して、今液相法は具体化で多くの異なるタイプに分けるの溶液の成長の結晶の技術を利用する。そしてこれらの技術は絶えず発展する。例えば変温法、溶剤蒸発法、高温の溶液法、フラックス法、水熱法などは現在で材料科学の領域の中で最も常用するの液相は結晶を調整するの方法である。その中、水熱法は水係では、結晶の溶解度を変更することによって、液相のシステムで結晶の成長を育てる方法である。。それが他の液相法の違いは主に以下のいくつの方面：

（1）反応条件：水熱法が一般的に水と他の塩を混ぜ合わせる溶媒を形成する。だから、反応過程の中で、このようなシステムは常温常圧の条件の下での難しい溶解物質に溶解度を高めて、普段の反応条件の反応は比較的に温和な条件で行うことを促す。

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混じりけ強い吸着性の無機非金属材料、例えばカーボンナノチューブ、グラフェン等の組合せ最適化材料の性能は複合材料のガス敏感性を強めることができる。また、適量の酸化タングステンとポリマを混合して、良い実行の仕事温の度を低下して室温探査までである。化学合成方法を用いて聚苯胺と三酸化タングステンのナノワイヤーを混合して複合フィルムを調整する。そして、水素表面弾性波センサーの敏感膜を使う。水素濃度に最低探査は0.06%に達することを実現する。

中国の酸化タングステンナノ材料の研究にはそれぞれ特色があり、そしてよいの進展を取た。これらの研究は主に調製する特殊マイクロ構造と基本的な性質の特性を集中する。例えば構造、光学的性質、電界変色性質和気敏性などである。酸化ケイ素を採用して硬いテンプレートとして、セチル三位に基づく塩化アンモニウム補助調節水熱成長習性を通じて、介穴の酸化タングステン材料を得られる。WCl6を用いて前体として、シクロヘキサンが溶剤を作て、200℃の下で水熱合成され非計量の亜酸化物W18O49ナノワイヤーを得る。そして、熱処理の後で高い活性を示し、その息敏テストはエタノールの低濃が2.7ppmに達する。

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気体は酸化タングステンのナノ結晶の表面の吸着を通して電子の移動を発生する。材料の性質は伝導率の変化によって違いガスの濃度を測定することができる。それに基づいて、各種の晶相、構造、容貌と尺度の酸化タングステン低次元の機能材料はガスセンサーの研究を用いること報道される。例えば、高温酸化方法で酸化タングステンナノの網状構造を調整することができる。素材のガス敏感性を探査して、結果を表明しては窒素酸化物（NO / NO 2）ガスの最低検出限界が速報級に達する。しかし、その応答が長くて、約25分である。。酸化シリコン分子篩を通して、低週波の交流は酸化タングステンの微細粒堆積から電極で、得た敏感なデバイスはNO2敏感検出に100ppbガスに達する。

酸化タングステンナノ素材の改性ははセンサーの感度に向上するの重要な手段として、主に混じりけ遷移金属、無機非金属材料およびポリマ-の複合材料の三類を含む。貴金属ナノ粒子を混ぜたり、材料の表面が多く触媒活性部位を生み出す。さらに酸化タングステンのナノ素材のガス敏感性を向上する。

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ポリビニルピロリドン（PVP）とポリビニルアルコール（PVA）コーティングのLiNbO3弾性表面波の部品の湿度の性能を探査して、PVPのコーティングのデバイスは5-95%相対湿度の範囲の内で部品挿入損失の変化が50dBに達することができる。応答時間は1.5秒で、回復時間は2.5秒で、この部品は性能が最高の湿度センサーである。一方、ナノ構造の酸化タングステンを湿敏材料として、ゾルゲルの技術を通じてナノ構造のWO3フィルムを得られる。また、相補金属酸化物半導体（CMOS）の技術を利用しては逆バイアス増幅回路とマイクロヒーターを一体する。25%-85%で湿度の範囲の線形検出を実現する。湿度が60％で感度が約4.5 mV/%RHである。WO3と銀混じりけのWO3フィルムの抵抗型湿度センサーを用いて、７００°C焼きなまし処理の銀ドーピングWO3湿度センサーで20-90%範囲内で20MΩ/%RHがより大きいを観察する。しかし、応答時間が長い29秒で、回復時間は２９０秒である。

表面弾性波湿度センサーの研究とナノ酸化タングステン湿度センサーの研究の進展を総合して、ダブル機能配位子小分子有機酸アンモニウムを用いてコーティング剤をつくる。低次元酸化タングステンナノ結晶として敏感膜を調整して、性能が優れているの表面弾性波デバイスを結び湿気探査を行う。これは比較的に面白いの視点で、酸化タングステンナノ結晶質の最適化と湿度センサーの性能が向上し、両者間の内部の関係を高める。

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湿度探査と制御はマイクロエレクトロニクス加工、室内の知的制御、生体のサンプルの育成、作物が温室で培養などの分野で広くの応用される。細かく監視の作用と影響は湿度センサーの研究が深く、人々はさまざまな改善と向上した装置の性能の方法と技術を設計と開発する。湿度センサーは一般材料の表面の水の分子物理化学的吸着によって材料の導電性質変化の法則を変えの設計加工である。様々な応答メカニズムを基づいて、湿度センサーはおもに容量型、抵抗型、光電型、と重力型などに分ける。

表面弾性波素子の特性を結び付けて、低次元ナノ材料及び複合物に表面弾性波湿度センサー敏感な膜の研究は特色を高く備えての新型検出の方法である。石英表面弾性波の部品の上を、ポリスチレンアセチレンやエネルギーなどの薄膜後に相対湿度の敏感性に比べて、TiO2フィルムのエネルギーの部品の応答と湿度の変化に従って線形最高の性能がよく良い。そして、ポリビニルアルコールフィルムは濡れ敏材料をとしてコーティングで二重共鳴音表面波発振器において、相対湿度20～75％の範囲内で非線形応答。カンフルスルホン酸ドープ聚苯胺を濡れ敏ユニットを利用して、128°Y切ってLiNbO3表面弾性波共振器を通して室温5%-90%相対湿度の範囲内の安定探査を実験した。結果はよくだ。

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三酸化タングステンの分子量は231.85で、理論密度は7.16g/cm3で、水に溶けなく、酸にの溶けない。しかし、HFがマイクロに溶け、熱アルカリとアンモニア水に溶けることができる。タングステンの外殻電子配置はsd46sで、したがってその化合物の中で+ 2、+ 3、+ 4、+ 5と+ 6など5種類の原子価状態を現れ、よく異なる原子価が共存するの状況がある。三酸化タングステンはタングステンの最高の価格の酸化物で、一般的に三酸化タングステンの酸素の含有量は厳しい化学計量比にを満たしていなく、WO3-xの形式で表示する。一定の程度の酸素の不在に存在しているので、部分のW6 +イオンはW 5 +イオンを還元して、タングステンの5、6価の混合原子価酸化物を形成する。

WO3の分子式はかなり簡単ですが、物理的性質が非常に復雑である。三酸化タングステンの融点は文献を報道によるは1473℃が、1100℃の時から升華し、昇華熱は459.8kJ/molである。厳格で満足に化学計量比かつ無不純物の三酸化タングステンは、無色透明の絶縁体で、室温でその禁制帯幅約2.9Evであるべきだ。また、非化学計量のWO3-xはn型半導体の行為を現れ、禁止帯幅は2.4～2.8eVである。しかし、三酸化タングステンの構造の変態は温度の変化につれてから、三酸化タングステンの抵抗率が跳躍現象を生み出すで、その抵抗率は一般的に0.3～10Ω・cmの範囲である。

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過去にナノ三酸化タングステンの調整は主に敏感膜の上で、その調整の工芸もより成熟している。それは最も早く、1967年にアメリカ人Shaverによって報道で、現の段階では違い調製方法と工芸を採用して敏感膜のガス敏性能を高めることに決心する。例えば混じりけ、敏感膜の粒径を下げて、表面の解媒なでである。