気相法でナノ三酸化タングステンを調製する

気相法はガスや様々な手段に直接利用して、物質は気体に変化させる。ガスの条件の作用の下で物理変化あるいは化学変化が発生して、最後に冷やしてナノ粒子を形成する。その主要な過程は升華、蒸発、分解、そして適切な条件によってそれに飽和蒸気になる。そして、非晶フィルムの結晶化の過程を抑えて、ナノ粒子を獲得した。

気相法の主な方法は化学気相蒸着と物理蒸着である。化学気相蒸着は主に多結晶原料を気相転化単結晶、例えば化学伝送法、気体分解法、ガス合成法とMOCVD法などである。そして、物理気相法は、多結晶原料を気相転化単結晶、例えば昇華-凝縮法、分子ビーム法とカソードスパッタリング法である。気相法は液相法制の金属炭化物、窒化物、硼化物などの非酸化物超たを作ることができる。同時に他の方法に比べて、気相法は産出したのナノ三酸化タングステン表面より清潔、粒度も抑えしやすく、粒の分散性も良い。

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