非晶質WO3薄膜の電子状態(I)
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- カテゴリ: タングステン知識
- 2015年6月26日（金曜）11:45に公開
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非晶質WO3(a- WO3)薄膜は、電気化学的酸化還元反応により色調が可逆的に変化するエレクトルクルミック（EC）特性を有するクロモジェニック材料の一つとして開く研究され、smart windowに代表される調光ガラス、防眩ミラー､表示素子等に実用されている｡
このEC特性は膜の表面モフォロジー､多孔性及び膜内に含まれる吸着水や構造水の量とその存在形態､WとOの原子比などと深い相関があるので膜の作製方法･条件にも依存することになる。つまり､原子レベルでの薄膜の構造が大きく影響していると言える｡
これまでに我々のグループは､動径分布関数解析により非晶質WO3薄膜(以下、a-WO3薄膜と略す)の構造解析を行い､真空蒸着法、液相合成法により作製した膜は、RFマグネトロンスパッタ法により作製した膜と異なる構造を有することを明らかにしてきた。
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